一种太阳能电池扩散工艺及其设备

摘要

本发明涉及一种太阳能电池加工技术领域，特别是一种太阳能电池扩散工艺及其设备。本发明在太阳能电池扩散工艺中通过控制抽气排风压力，使抽气排风压力这个参数保持稳定，抽气排风压力的稳定导致磷在硅片中的注入浓度稳定，使加工后得到的硅片的方块电池保持稳定，在后道烧结中可以匹配出高效的太阳能电池。抽气排风压力通过在机台排风端加装的排风压力控制阀和排风压力控制器来进行控制。抽气排风压力稳定后，磷在硅片中的注入浓度稳定后，方块电阻也随之稳定，可以提升最终的太阳能电池效率5％。

主权项

一种太阳能电池扩散工艺，其特征是：在太阳能电池扩散工艺中通过控制抽气排风压力，使抽气排风压力这个参数保持稳定，抽气排风压力的稳定导致磷在硅片中的注入浓度稳定，使加工后得到的硅片的方块电池保持稳定，在后道烧结中匹配出高效的太阳能电池。