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发明名称
摘要
申请公布号 JP4596650(B2) 申请公布日期 2010.12.08
申请号 JP20000594140 申请日期 2000.01.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;H01L21/683 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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