夹层式石英透射偏振分束光栅

摘要

一种用于1550纳米波段的夹层式石英透射偏振分束光栅，包括在石英基片上的矩形深刻蚀光栅，其特点是在所述的矩形深刻蚀光栅上还结合有一层厚度均匀的石英，该矩形光栅的周期为808～852纳米，刻蚀深度为1.955～2.260微米，光栅的占空比为0.6。可实现高消光比、高衍射效率偏振分束。该夹层式石英透射偏振分束光栅可视为等效的法布里珀罗(F-P)腔，能有效抑制反射损失，可以在C+L波段宽角度范围使用。本发明光栅部分被夹在中间，可免于机械损伤和灰尘等，稳定性好。

主权项

一种用于1550纳米波段的夹层式石英透射偏振分束光栅，包括在石英基片(2)上矩形深刻蚀光栅(4)，其特征是在所述的矩形深刻蚀光栅上还结合有一层厚度均匀的石英(3)，该矩形光栅的周期为808～852纳米，刻蚀深度为1.955～2.260微米，光栅的占空比为0.6。