超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置及方法

摘要

本发明的超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置及方法，涉及精密调节领域，该装置包括光学元件座、光学元件、柔性铰链座、第一压电陶瓷机构、第二压电陶瓷机构、第一柔性铰链和第二柔性铰链，柔性铰链座包括固定板、第一调节动板和第二调节动板。柔性铰链组布置采用两层相互垂直一块料加工成型的叠加方式，并且每层柔性铰链组与压电陶瓷形变方向构成等腰三角形支撑，在压电陶瓷伸缩变形中驱动柔性铰链组实现精密调节，精度达到微米级。本发明应用到超高真空及光谱技术领域中光学元件的精密调节，准确实用，效率高，成本低，便于推广。

主权项

超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置，包括光学元件座(4)和光学元件(5)，光学元件(5)固定在光学元件座(4)中，其特征在于，该精密调节装置还包括柔性铰链座(1)、第一压电陶瓷机构、第二压电陶瓷机构、第一柔性铰链(12)、第二柔性铰链(14)，柔性铰链座(1)中心处开有对应于光学元件座(4)的通孔(23)，所说的柔性铰链座(1)包括固定板(13)、第一调节动板(15)和第二调节动板(16)，光学元件座(4)被固定在第二调节动板(16)对应的通孔(23)内，第一调节动板(15)与第二调节动板(16)通过第二柔性铰链(14)相连，固定板(13)与第一调节动板(15)通过第一柔性铰链(12)相连，固定板(13)上开有对应于第一压电陶瓷(3)的第一压电孔(17)，第一压电陶瓷(3)固定在第一压电孔(17)内，所说的第一柔性铰链(12)装在固定板(13)的一端，与第一压电孔(17)呈三角形布置，所说的第一调节动板(15)与固定板(13)结构相同，第一调节动板(15)上的第二压电孔(18)与第一压电孔(17)呈垂直布置，所说的第二调节动板(16)水平方向上开有与通孔(23)相连通的两个互相垂直的固定孔(22)，固定孔(22)与压电孔对应。