发明名称 永磁场直拉硅单晶的工艺及附属设备
摘要 本发明使用钕铁硼永磁体向熔体空间引入磁场,用以抑制硅熔体热对流。同时,磁场拉晶还可以控制硅单晶的氧浓度及均匀性,改善晶体电阻率均匀性,提高非平衡少数载流子寿命,并且由于硅熔体平稳安静,便于拉晶操作,成品率可提高5%左右。
申请公布号 CN101906658A 申请公布日期 2010.12.08
申请号 CN200910176611.0 申请日期 2009.09.24
申请人 天津希力斯新能源技术研发有限公司 发明人 徐岳生;王海云;刘彩池;顾励生;李幼斌;王继炎;郎益谦
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B30/04(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 主分类号 C30B15/00(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种直拉硅单晶的工艺,其特征在于向熔体空间引入可变磁感应强度的磁场。
地址 300410 天津市天津空港物流加工区外环北路1号2-B114室