发明名称 | 永磁场直拉硅单晶的工艺及附属设备 | ||
摘要 | 本发明使用钕铁硼永磁体向熔体空间引入磁场,用以抑制硅熔体热对流。同时,磁场拉晶还可以控制硅单晶的氧浓度及均匀性,改善晶体电阻率均匀性,提高非平衡少数载流子寿命,并且由于硅熔体平稳安静,便于拉晶操作,成品率可提高5%左右。 | ||
申请公布号 | CN101906658A | 申请公布日期 | 2010.12.08 |
申请号 | CN200910176611.0 | 申请日期 | 2009.09.24 |
申请人 | 天津希力斯新能源技术研发有限公司 | 发明人 | 徐岳生;王海云;刘彩池;顾励生;李幼斌;王继炎;郎益谦 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B30/04(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/00(2006.01)I |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 一种直拉硅单晶的工艺,其特征在于向熔体空间引入可变磁感应强度的磁场。 | ||
地址 | 300410 天津市天津空港物流加工区外环北路1号2-B114室 |