在大容积等离子体室中使用低功率脉冲等离子体来涂布聚合物层

摘要

本发明提供了一种在大容积等离子体室中使用低功率脉冲等离子体来涂布聚合物层的方法，其为在基体上沉积聚合材料的方法，所述方法包括将气态有机单体材料引入等离子体沉积室中，在所述室中引发辉光放电，并以0.001w/m3～500w/m3的功率，用足够长的时间施加作为脉冲场的高频电压，以在基体的表面上形成聚合物层。所述方法特别适合于制造防油防水涂层，特别是在单体材料包含卤代烷基化合物的情况下。本发明还描述并要求保护特别适合于实施本发明的方法的装置。

主权项

一种在基体上沉积聚合材料的方法，所述方法包括将气态单体材料引入其中等离子体区的容积至少为0.5m3的等离子体沉积室中，在所述等离子体沉积室中引发辉光放电，并以0.001w/m3～500w/m3的功率，用足够长的时间施加作为脉冲场的电压，以在所述基体的表面上形成聚合物层。