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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR PLASMA PROCESSING
摘要
申请公布号 EP1695370(B1) 申请公布日期 2010.12.08
申请号 EP20040806048 申请日期 2004.12.14
申请人 OXFORD INSTRUMENTS PLASMA TECHNOLOGY LIMITED 发明人 SINGH, NITYALENDRA;CROAD, ROGER, JAMES, WILSHIRE
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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