探针支撑板的制造方法、计算机存储介质以及探针支撑板

摘要

通过进行光刻处理，在金属薄板上形成预定的图案。将该图案作为掩模而蚀刻金属薄板，从而在金属薄板上形成多个直径比探针的直径大的贯穿孔。对多个金属薄板进行该蚀刻。在除去图案之后，将各金属薄板的各贯穿孔对准导向架的导向销，层叠多个金属薄板。通过扩散接合来接合被层叠的多个金属薄板。在金属薄板的表面以及各贯穿孔的内侧表面上形成绝缘膜。调整绝缘膜的厚度，以使得形成该绝缘膜后的贯穿孔的内径与探针的直径相匹配。

主权项

一种探针支撑板的制造方法，该探针支撑板支撑用于检查被检查体的电气特性的多个探针，所述探针支撑板的制造方法包括：蚀刻工序，对金属板进行蚀刻，从而在该金属板上形成用于插入探针的多个贯穿孔；以及膜形成工序，在所述多个贯穿孔中的每一个贯穿孔的内侧表面上形成绝缘膜。