用于控制具有多变量输入参数的制造工艺的方法和系统

摘要

本发明公开了一种建模和/或控制制造工艺的方法、系统和介质。特别地，一种根据本发明实施例的方法包括识别一个或多个输入参数的步骤。每个输入参数造成至少两个输出改变。所述方法还包括存储所识别的输入的值和对应的经验输出值以及预测输出值的步骤。所述预测输出值是部分地基于所识别的输入值计算的。所述方法还包括通过最小化一个评分方程(score equation)来计算一组变换系数的步骤，该评分方程是一个或多个经验输出值与其对应的预测输出值之间的差值的函数。所述方法还包括以下步骤：接收所识别的输入的一组新值，使用该组系数对所识别的输入的那组新值进行变换，并使用所变换的输入值来计算一组预测输出值。

主权项

一种用于控制制造设备的计算机实现的方法，所述方法包括以下步骤：(a)识别通到所述制造设备的至少一个输入，所述至少一个输入导致所述制造设备的多个输出中的至少两个输出发生改变；(b)存储所识别的输入的值和对应的实际输出值；(c)基于所述所识别的输入的值确定和存储预测输出值；(d)通过最小化一个评分方程来确定一组变换系数，所述评分方程使用一个或多个所述实际输出值与其对应的预测输出值之间的差值的函数来表示；(e)基于所计算的这组变换系数来确定对应于一个或多个期望输出值的一个或多个输入参数；和(f)利用步骤(e)中所确定的一个或多个输入参数来设置制造设备输入参数。