一种慢波结构制造的工艺方法

摘要

一种慢波结构制造的工艺方法，属于真空电子器件领域，该方法包括慢波结构的零件检验、清洗、装配和钎焊，装配和钎焊过程按以下步骤操作：将慢波结构的零件，用真空蒸发的方式进行表面镀银，镀银的厚度控制在1微米范围内；进行慢波结构的对中装配；在氢炉内850℃温度下进行焊接；在焊好的慢波结构外套上金属管壳，该金属管壳的内径尺寸要和慢波结构外径尺寸相配合。本制造慢波的方法，整体对中性能好，真空气密性高，机械牢固性强，节约成本，降低装配难度，提高合格率。

主权项

一种休斯型耦合腔式慢波结构制造的工艺方法，包括慢波结构的零件检验、清洗、装配和钎焊，其特征在于，装配和钎焊过程按以下步骤操作：a.将慢波结构的零件用真空蒸发的方式进行表面镀银，镀银的厚度控制在1微米范围内；b.进行慢波结构的对中装配；c.在氢炉内850℃温度下进行焊接；d.在焊好的慢波结构外套上金属管壳，该金属管壳的内径尺寸要和慢波结构外径尺寸相配合。