减少来自红外辐射的图像伪影的背面硅晶片设计

摘要

本发明揭示具有减少的图像伪影的成像装置。通过使穿过所述成像装置的IR辐射改变方向、吸收所述IR辐射或使所述IR辐射散射以避免光在衬底的背面上反射并累积在暗像素中，来减少所述成像装置中的所述图像伪影。

主权项

一种成像器，其包括：半导体衬底，其具有第一表面和第二表面；以及像素传感器单元阵列，其包括形成于所述衬底的所述第一表面处的多个像素单元，所述像素单元包括成像像素单元和暗电流像素单元；其中在所述第二表面中形成有表面磨蚀，以用于减少从所述第二表面反射回所述暗电流像素单元的光的量。