滚筒式样品台

摘要

本实用新型公开了一种滚筒式样品台，其包括有滚筒、筛网、双模运动机构和振动机构，筛网与振动机构连接，滚筒与双模运动机构连接，滚筒的开口处设有靶材。在磁控溅射镀膜过程中，是将粉体颗粒放于滚筒内，根据粉体样品的分散性，调节滚筒的旋转速度及上下振动功率，粉体颗粒被翼片带到滚筒的上方，同时在滚筒的上下振动及重力作用下，粉体颗粒就会落到筛网中，筛网中的粉体在超声波的振动下垂直下落，在滚筒开口处入射来的溅射流就会在下落的粉体表面沉积，经过一定时间的沉积就会在粉体颗粒表面沉积上均匀性好、致密性高和附着力强的薄膜。

主权项

1.一种滚筒式样品台，包括有超声波振动机构(2)、筛网(5)，其特征在于：还包括有双模运动机构(1)、滚筒(3)和筛网连杆(4)；双模运动机构(1)中的上下振动电机(13)安装在A电机座(11)的竖支板(113)上，上下振动电机(13)的输出轴穿过C通孔(116)后套接有偏心轮(131)，偏心轮(131)置于B电机座(12)的U形槽(124)内；A电机座(11)的上支臂(111)上设有供A直线轴承(15)安装的A通孔(114)，A直线轴承(15)套接在B电机座(12)的上导柱(121)上；A电机座(11)的下支臂(112)上设有供B直线轴承(16)安装的B通孔(115)，B直线轴承(16)套接在B电机座(12)的下导柱(122)上；B电机座(12)的上导柱(121)穿过A直线轴承(15)，下导柱(122)穿过B直线轴承(16)，B电机座(12)的空腔(123)内放置有圆周转动电机(14)，圆周转动电机(14)安装在B电机座(12)的侧板(125)上，且圆周转动电机(14)的输出轴穿过D通孔(121)后与联轴器(141)连接，联轴器(141)的另一端上连接有长轴(142)，长轴(142)的另一端连接在滚筒(3)底部的接头(33)上；滚筒(3)的内壁(36)均匀设有翼片(31)，翼片(31)与滚筒内壁(36)的安装角θ＝10°～40°，翼片(31)的宽度d1表示滚筒的内直径；滚筒(3)的开口(32)的内直径滚筒(3)的底部(34)设有接头(33)，该接头(33)用于与长轴(142)的另一端连接；筛网连杆(4)的一端连接在超声波振动机构(2)的输出轴上，筛网连杆(4)的另一端连接在筛网(5)上；筛网(5)置于滚筒(3)内，筛网5的宽度筛网(5)底部距轴向中心线的距离筛网(5)的网孔大小从20目～12000目可调。