菲涅尔结构微光学元件的加工装置

摘要

菲涅尔结构微光学元件的加工装置，它涉及一种微光学元件加工装置。它解决了现有单点金刚石超精密车削加工装置在加工过程中刀具轨迹是靠机床的多个轴进行插补后得到的，因此，存在一定的原理性加工误差的问题。本发明的液压马达(6)设在X向溜板(2)上，刀架(4)与液压马达(6)的输出轴连接，刀具(5)为半尖形状固定在刀架(4)上，刀架(4)上设有压电陶瓷(7)和双柔性平行四杆机构(8)，压电陶瓷(7)的上端与双柔性平行四杆机构(8)连接。本发明的装置能够加工大深宽比的三维结构，并能够实现在曲面基底上加工较为复杂的微结构；加工零件的成形精度达亚微米级，无须后续抛光表面粗糙度Ra值达到5nm，加工效率高，成本低等。

主权项

菲涅尔结构微光学元件的加工装置，它由Z向溜板(1)、X向溜板(2)、主轴(3)、刀架(4)、刀具(5)、液压马达(6)、压电陶瓷(7)、双柔性平行四杆机构(8)和床体(10)组成，Z向溜板(1)和X向溜板(2)设在床体(10)上，主轴(3)固定在Z向溜板(1)上，其特征在于液压马达(6)设在X向溜板(2)上，刀架(4)与液压马达(6)的输出端连接，刀具(5)为半尖形状固定在刀架(4)上，压电陶瓷(7)和双柔性平行四杆机构(8)设在刀架(4)上，压电陶瓷(7)的上端与双柔性平行四杆机构(8)下端连接，双柔性平行四杆机构(8)的上端和两侧分别与刀架(4)连接。