发明名称 ELECTRICAL CONNECTOR, ELECTRICAL CONNECTION SYSTEM AND LITHOGRAPHIC APPARATUS.
摘要
申请公布号 NL2005551(A) 申请公布日期 2010.12.07
申请号 NL20102005551 申请日期 2010.10.20
申请人 ASML NETHERLANDS B.V., 发明人 HILBERS, ALEX
分类号 G03F7/20;H01R4/58 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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