基板表面检查装置以及基板表面检查方法

摘要

提供一种基板表面检查装置以及方法，对于各支撑体所支撑的基板的部位也能够根据拍摄图像来判断、分析其状态。构成为：使用多个第1支撑体(23a～23d)的沿与扫描方向正交的方向的基板支撑位置的排列位置被设定在由第1相对位置上的拍摄部(30a、30b)拍摄基板(10)的拍摄范围之外、以及共同拍摄范围内这两者，多个第2支撑体(24a～24d)的沿与所述扫描方向正交的方向的基板支撑位置的排列位置被设定在由第2相对位置上的拍摄部拍摄所述基板的拍摄范围之外、以及所述共同拍摄范围内这两者的支撑机构(20)；位于第1相对位置的拍摄部扫描拍摄由所述多个第1支撑体支撑的基板(10)的表面，使所述拍摄部移动到第2相对位置；位于第2相对位置的拍摄部扫描拍摄由所述多个第2支撑体支撑的基板(10)的表面。

主权项

一种基板表面检查装置，其根据拍摄基板的表面而得到的图像来检查该基板，该基板表面检查装置具有：支撑机构，其具有能够支撑所述基板的边缘部以及解除支撑的、多个第1支撑体以及多个第2支撑体；拍摄部，其与由所述支撑机构中的所述多个第1支撑体的组以及所述多个第2支撑体的组中的任意一组所支撑的所述基板的表面对置地配置；扫描移动机构，其使所述拍摄部与所述支撑机构相对移动，使得该拍摄部在预定的扫描方向上扫描拍摄所述基板的表面；以及移位机构，其在横穿所述扫描方向的方向上使所述拍摄部与所述支撑机构在第1相对位置与第2相对位置之间移动，所述拍摄部在所述第1相对位置与所述第2相对位置上，在与所述扫描方向正交的方向上，以所述基板的预定范围作为共同拍摄范围，能够拍摄到包含该共同拍摄范围在内的所述基板的一侧的预定区域和另一侧的预定区域，所述支撑机构中的所述多个第1支撑体的沿与所述扫描方向正交的方向的基板支撑位置的排列位置被设定在，由所述第1相对位置上的所述拍摄部拍摄所述基板的拍摄范围之外、以及所述共同拍摄范围内这两者，所述支撑机构中的所述多个第2支撑体的沿与所述扫描方向正交的方向的基板支撑位置的排列位置被设定在，由所述第2相对位置上的所述拍摄部拍摄所述基板的拍摄范围之外、以及所述共同拍摄范围内这两者。