有平衡悬臂板的整体的MEMS装置

摘要

一种微机电系统装置由单个多层晶片制成，这减轻了与使用以前技术的两片设计相关的对准问题。在一个实施例中，微机电系统装置有一固定部件和一旋转连接固定部件的可移动部件。该固定部件有电极和与电极电绝缘的第一传导结构。该可移动部件有旋转板和位于板上并与板电连接的第二传导结构。第二传导结构的质量和位置的选择可以补偿板相对于旋转轴的不稳定性。此外，在静止位置，第一和第二传导结构围绕电极形成基本连续的、适于为电极提供电屏蔽的栅栏。可移动部件适于相对于固定部件旋转以响应施加于第二传导结构和电极之间的电压，这样可移动部件就无法在旋转过程中与电极进行物理接触，这减轻了许多使用以前技术的装置固有的突然损坏问题。

主权项

一种整体的MEMS装置，包括：有电极和与电极电绝缘的第一传导结构的固定部件，和通过一对弹簧可移动地与固定部件结合的可移动部件，每个弹簧连接在所述可移动部件和固定部件之间，该可移动部件有第二传导结构，其中：电极和第二传导结构形成驱动件；可移动部件用于响应施加于驱动件的电压差相对于固定部件围绕由所述一对弹簧所限定的旋转轴旋转；可移动部件有相对于旋转轴的短部分和长部分，所述短部分和长部分形成一种失衡板；第二传导结构位于所述短部分，以使得第二传导结构的质量至少部分弥补板的不稳定性；并且第一和第二传导结构围绕电极周长形成基本连续的电磁栅栏。