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经营范围
发明名称
Substrate processing method
摘要
申请公布号
EP1770765(A3)
申请公布日期
2010.11.10
申请号
EP20060019564
申请日期
2006.09.19
申请人
TOKYO ELECTRON LTD.
发明人
FUJII, YASUSHI;TOSHIMA, TAKAYUKI
分类号
H01L21/02;H01L21/311
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
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