摘要 |
1. Устройство для наблюдения внешнего вида поверхности (2) образца (1), содержащее источник (11) света для освещения упомянутой поверхности (2) в определенном направлении и средство для наблюдения поверхности (2), при этом средство наблюдения поверхности (2) содержит множество, по существу, плоских зеркал (8), размещенных в различных направлениях относительно упомянутой поверхности (2), и оптическую систему (6, 14) для наблюдения плоских зеркал (8), при этом каждое плоское зеркало (8) отражает изображение поверхности (2) образца (1) на узел (6) приема изображения оптической системы (6, 14), отличающееся тем, что положение источника (11) света является настраиваемым, так что поверхность (2) образца (1) может освещаться из различных заданных положений. !2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что плоские зеркала (8) размещены, по существу, на равных расстояниях от места размещения поверхности (2), предназначенной для наблюдения. ! 3. Устройство по любому из пп.1 или 2, отличающееся тем, что плоские зеркала (8) размещены, по существу, на равных расстояниях от узла (6) приема изображения оптической системы (6, 14). ! 4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что узел (6) приема изображения оптической системы (6, 14) и поверхность (2) для наблюдения размещены рядом друг с другом, при этом среднее расстояние между местом расположения поверхности (2) для наблюдения и плоскими зеркалами (8) более, чем в десять раз превышает расстояние между местом расположения поверхности (2) для наблюдения и узлом (6) приема изображения оптической системы (6, 14). ! 5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что узел приема изображения оптической системы (6, 14) представляет собой сферическое зеркало |