| 发明名称 | 静电卡盘以及形成方法 | ||
| 摘要 | 一种静电卡盘包括一个绝缘层，覆盖该绝缘层的一个导电层，覆盖该导电层的一个介电层，该介电层具有形成连通孔隙性的孔隙，以及一种固化的聚合物浸渍剂，该浸渍剂存在于该介电层的这些孔隙之中。 | ||
| 申请公布号 | CN101884161A | 申请公布日期 | 2010.11.10 |
| 申请号 | CN200880118798.2 | 申请日期 | 2008.12.18 |
| 申请人 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 发明人 | M·阿布阿夫;S·W·英托;M·A·辛普森 |
| 分类号 | H02N13/00(2006.01)I | 主分类号 | H02N13/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 郭辉 |
| 主权项 | 一种静电卡盘，包括：一个绝缘层；覆盖该绝缘层的一个导电层；覆盖该导电层的一个介电层，该介电层包括形成连通孔隙性的孔隙；以及一种固化的聚合物浸渍剂，该浸渍剂存在于该介电层的这些孔隙的至少一部分之中。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||