一种全折射式投影光学系统

摘要

本发明公开了一种折射式投影光学系统，采用全折射式的结构，避免使用转折棱镜和较大的球面反射镜，降低了加工和装配的难度；该折射式投影光学系统具有较长的物方和像方工作距，降低了实际使用过程中对工件台和掩模台设计空间的约束；该折射式投影光学系统均采用紫外高透过率光学材料校正ghi三线的二级光谱，实现了较高的透过率，同时较好地校正了色差。

主权项

一种全折射式投影光学系统，从物面到像面依次排列第一镜片组、第二镜片组、光阑、第三镜片组、第四镜片组；所述第一与第四镜片组、第二与第三镜片组分别相对于所述光阑对称；所述第一镜片组具有正光焦度，其包括从物面到像面依次排列的透镜一、透镜二、透镜三、透镜四；所述第二镜片组具有正光焦度，其包括从物面到像面依次排列的透镜五、透镜六、透镜七、透镜八；其特征在于：所述透镜一为双凹透镜，所述透镜二为凹面朝向物面的负弯月透镜，所述透镜三为凹面朝向物面的正弯月透镜，所述透镜四是正透镜；所述第一镜片组的焦距大于100mm，小于300mm；所述透镜二的焦距大于-750mm，小于-450mm；所述第二镜片组的焦距大于500mm，小于3000mm；所述第二镜片组与所述光阑之间的距离大于18mm。