发明名称 |
具有更高的羽流稳定性和加热效率的微波等离子体喷嘴 |
摘要 |
披露了用于产生微波等离子体的系统和方法。本发明提供了微波等离子体喷嘴(26),它包括气流管(40)和棒状导体(34),该棒状导体设置在气流管(40)中并具有位于气流管(40)的出口附近的尖端(33)。棒状导体(34)的一部分(35)延伸至微波空腔(34)中以接收在空腔(24)中穿过的微波。所接收到的这些微波聚集在尖端(33)处,将气体加热成等离子体。微波等离子体喷嘴(26)还包括位于棒状导体(34)与气流管(40)之间的涡流引导件(36),用于使流经气流管(40)的气体具有螺旋形流动方向。微波等离子体喷嘴(26)还包括屏蔽机构(108),用于降低穿过气流管(40)时的微波能量损失。 |
申请公布号 |
CN101002508B |
申请公布日期 |
2010.11.10 |
申请号 |
CN200580022852.X |
申请日期 |
2005.07.07 |
申请人 |
阿玛仁特技术有限公司;赛安株式会社 |
发明人 |
李相勋;金重秀 |
分类号 |
H05H1/46(2006.01)I;H05H1/24(2006.01)I |
主分类号 |
H05H1/46(2006.01)I |
代理机构 |
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 |
代理人 |
武玉琴;张友文 |
主权项 |
一种从微波和气体产生等离子体的微波等离子体喷嘴,包括:用于让气流从其中穿过的气流管,所述气流管具有出口部,所述出口部包括微波基本上可透过的材料;以及设置在所述气流管中的棒状导体,其特征在于:所述棒状导体具有尖端和收集部,在所述收集部接收微波,沿所述棒状导体的表面传播所述接收的微波并聚集所述微波在所述尖端处,其中所述棒状导体的所述尖端设置在所述气流管的出口部附近,所述出口部是指包括边缘和在该边缘附近的一部分气流管的那一段。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |