| 发明名称 |
Polishing agent based on gluconic acid |
| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft die Verwendung von Gluconaten bei der Herstellung von Halbleiterscheiben, bevorzugt beim Polieren der Halbleiterscheiben während des Herstellprozesses, sowie ein Poliermittel auf Basis eines Abrasivstoffes und/oder Kolloides und einer Mischung aus Disuccinaten oder Methylglycindiessigsäure (MGDA) und Gluconaten.</p> |
| 申请公布号 |
EP1826254(A3) |
申请公布日期 |
2010.11.10 |
| 申请号 |
EP20070102240 |
申请日期 |
2007.02.13 |
| 申请人 |
AKZO NOBEL CHEMICALS INTERNATIONAL B.V. |
发明人 |
DR. HEY, GABRIELE;DR. AGHINA, ALESSANDRO |
| 分类号 |
C09G1/02;C09K3/14 |
主分类号 |
C09G1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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