曝光装置

摘要

一种曝光装置，其包括：从光源(7)对滤色片基板(6)照射曝光用光的曝光光学系统(2)；与该曝光光学系统(2)相对配置的、载置并以一定速度输送所述滤色片基板(6)的输送设备(4)，将夹装在所述曝光光学系统(2)的光路上的遮光板(10)的开口部(10a)的像曝光在所述滤色片基板(6)上，其包括：摄像设备(3)，其在所述输送设备(4)的移动方向以所述曝光光学系统(2)的曝光位置的跟前侧为摄像位置，对所述滤色片基板(6)上所预先形成的黑底(11)进行摄像；控制设备(5)，其检测出经所述摄像设备(3)摄像的黑底(11)所预先设定的基准位置，以该基准位置为基准，对所述曝光光学系统(2)的曝光用光的照射时间进行控制，将所述遮光板(10)的开口部(10a)的像曝光在所述滤色片基板(6)的规定位置上。由此，提供一种采用小的遮光板高效地在宽阔的曝光区域进行曝光的曝光装置。

主权项

一种曝光装置，其包括：从光源对被曝光体照射曝光用光的曝光光学系统；与该曝光光学系统相对配置的、载置并以一定速度输送所述被曝光体的输送设备，在所述曝光光学系统的光路上夹装有遮光板，所述遮光板形成有沿与被曝光体的移动方向垂直的方向延伸的细长形状的开口部，将该遮光板的开口部的像曝光在所述被曝光体上，其特征在于，包括：摄像设备，其具有在与所述被曝光体的移动方向垂直的方向上被配置为一行形状的感光单元，并被配设为使得所述摄像设备的摄像中心与所述遮光板的开口部的中心在所述被曝光体的移动方向一致，所述摄像设备在所述输送设备的移动方向以所述曝光光学系统的曝光位置的跟前侧为摄像位置，对预先形成在所述被曝光体上的基准图案进行摄像；控制设备，其对经所述摄像设备摄取的所述基准图案的图像进行处理并检测出被预先设定在所述基准图案的与所述遮光板的开口部对应的曝光预定位置内的基准位置，以该基准位置为基准，对所述曝光光学系统的曝光用光的照射时间进行控制，将所述遮光板的开口部的像曝光在所述基准图案的所述曝光预定位置上。