发明名称 工艺过程加工能力的估计方法及装置
摘要 揭示了一种估计工艺过程加工能力的方法,包括:根据预定标准,确定工艺过程的标准上限USL、标准下限LSL。根据工艺过程的实际应用,确定工艺过程偏差σ和目标值T。检测并获取工艺过程的实际平均值μ。根据控制要求,从第一模型和第二模型中选择一个作为估计加工能力的估计模型,其中该第一模型和该第二模型中对于不处于LSL和USL中间位置的T,所得到的加工能力估计值在T的两侧成比例地对称。之后根据所选择的模型,使用在获得的参数USL、LSL、σ、T和μ计算理论加工能力率Cp和实际加工能力率Cpk。根据所获得的Cp和Cpk对工艺过程进行控制或者调整。
申请公布号 CN101436036B 申请公布日期 2010.11.10
申请号 CN200710048189.1 申请日期 2007.11.14
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 王邕保
分类号 G05B17/02(2006.01)I 主分类号 G05B17/02(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 陆嘉
主权项 1.一种工艺过程加工能力的估计方法,包括:根据预定标准,确定工艺过程的预定标准上限USL和预定标准下限LSL;根据工艺过程的实际应用,确定工艺过程偏差σ和工艺过程目标值T;检测并获取工艺过程的实际平均值μ;根据控制要求,从第一模型和第二模型中选择一个作为估计加工能力的估计模型,其中,在关注每百万单位中落到工作过程预定标准之外的缺陷部分的值DPPM的应用中,选择第二模型,而在其它应用中选择第一模型;该第一模型和该第二模型中,对于不处于LSL和USL中间位置的T,所得到的加工能力估计值在T的两侧成比例地对称,即根据第一模型或者第二模型估计得到的实际加工能力率Cpk符合:Cpk(μ=T-a)=Cpk(μ=T+γ<sup>*</sup>a),其中a表示从目标值T的偏移;<img file="FSB00000042135600011.GIF" wi="383" he="105" />根据所选择的模型,使用参数USL、LSL、σ、T和μ计算理论加工能力率Cp和实际加工能力率Cpk;根据所获得的Cp和Cpk对工艺过程进行控制或者调整;其中,所述第一模型定义为:<maths num="0001"><![CDATA[<math><mrow><mi>Cp</mi><mo>=</mo><mfrac><mrow><mi>USL</mi><mo>-</mo><mi>LSL</mi></mrow><mrow><mn>6</mn><mi>&sigma;</mi></mrow></mfrac></mrow></math>]]></maths>Cpk<sub>4</sub>=Cp(1-k)<maths num="0002"><![CDATA[<math><mrow><mi>k</mi><mo>=</mo><mfenced open='{' close=''><mtable><mtr><mtd><mfrac><mrow><mi>T</mi><mo>-</mo><mi>&mu;</mi></mrow><mrow><mi>T</mi><mo>-</mo><mi>LSL</mi></mrow></mfrac></mtd><mtd><mi>&mu;</mi><mo>&le;</mo><mi>T</mi><mo>,</mo></mtd></mtr><mtr><mtd><mfrac><mrow><mi>&mu;</mi><mo>-</mo><mi>T</mi></mrow><mrow><mi>USL</mi><mo>-</mo><mi>T</mi></mrow></mfrac></mtd><mtd><mi>&mu;</mi><mo>></mo><mi>T</mi><mo>.</mo></mtd></mtr></mtable></mfenced></mrow></math>]]></maths>所述第二模型定义为:<maths num="0003"><![CDATA[<math><mrow><mi>Cp</mi><mo>=</mo><mi>min</mi><mrow><mo>(</mo><mfrac><mrow><mi>T</mi><mo>-</mo><mi>LSL</mi></mrow><mrow><mn>3</mn><mi>&sigma;</mi></mrow></mfrac><mo>,</mo><mfrac><mrow><mi>USL</mi><mo>-</mo><mi>T</mi></mrow><mrow><mn>3</mn><mi>&sigma;</mi></mrow></mfrac><mo>)</mo></mrow></mrow></math>]]></maths>Cpk<sub>5</sub>=Cp(1-k)<maths num="0004"><![CDATA[<math><mrow><mi>k</mi><mo>=</mo><mfenced open='{' close=''><mtable><mtr><mtd><mfrac><mrow><mi>T</mi><mo>-</mo><mi>&mu;</mi></mrow><mrow><mi>T</mi><mo>-</mo><mi>LSL</mi></mrow></mfrac></mtd><mtd><mi>&mu;</mi><mo>&le;</mo><mi>T</mi><mo>,</mo></mtd></mtr><mtr><mtd><mfrac><mrow><mi>&mu;</mi><mo>-</mo><mi>T</mi></mrow><mrow><mi>USL</mi><mo>-</mo><mi>T</mi></mrow></mfrac></mtd><mtd><mi>&mu;</mi><mo>></mo><mi>T</mi><mo>.</mo></mtd></mtr></mtable></mfenced></mrow></math>]]></maths>。
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