QFN封装器件切割用金属烧结型金刚石锯刀制备方法

摘要

QFN封装器件切割用金属烧结型金刚石锯刀制备方法，先进行组成设计与配制，将金属粉末和无机填料配制金属基胎体组成，混料，加入金刚石颗粒，搅拌，再进行冷压预成形，将混合料布于钢模磨具中，封盖后放于压机的压板上，提升至与上压板接触并施加压力并保压制得成形压坯，将成形压坯置于石墨模具中，然后进行热压烧结，卸载空冷至室温，最后进行加工成型，制得满足尺寸要求的金属烧结型金刚石锯刀，藉助热压烧结工艺优势，经化学反应在金属和金刚石之间形成牢固的界面冶金结合，增强胎体对金刚石颗粒的把持力，使磨粒在切割加工期间不易过早脱落，从而提高了金属基金刚石锯刀的使用寿命，本发明具有工艺流程简单、产品质量稳定的特点。

主权项

QFN封装器件切割用金属烧结型金刚石锯刀制备方法，其特征在于：按以下步骤进行：(1)组成设计与配制按照95-98重量份的金属粉末和2-5重量份的无机填料的配比配制金属基胎体组成，金属粉末包括25-38重量份的Cu、3-8重量份的Sn和55-68重量份的Co，无机填料包括1-4重量份的SiC和1-4重量份的Al2O3；将上述混合料置于混料机中湿混搅拌3-5h使其均匀化，然后加入经过筛分除垢的金刚石颗粒，搅拌2-3h后获得成份均匀及金刚石均布的混合料，金刚石颗粒的体积百分浓度为45-78％，粒度为25-75μm；金属粉末粒度为325-400目；(2)冷压预成形将上述混合料均匀布于钢模磨具中，封盖后放于压机的压板上，提升至与上压板接触并施加50-75MPa的压力并保压2-3s制得成形压坯，然后将成形压坯置于石墨模具中；(3)热压烧结将热压模具连同工件整体移入烧结炉内，按模压压力25-35MPa、升温速率50-70℃/min、烧结温度600-800℃，保温保压时间6-8min设置烧结工艺参数，通过热压烧结工艺制备金属烧结金刚石锯刀毛坯，最后卸载空冷至室温；(4)加工成型外形切割：锯刀毛坯去除毛刺后利用慢走丝机床将其内孔、外圆加工到所需尺寸以满足装配需要；厚度减薄：利用双面磨床以游离SiC磨料减薄锯刀毛坯到要求的厚度，最终制得满足尺寸要求的金刚石锯刀。