一种非制冷微测辐射热计及其制备方法

摘要

本发明公开了一种非制冷微测辐射热计，包括用于非制冷探测器的微测辐射热计微桥结构，该微桥结构中的热敏电阻材料和光吸收材料为氧化钒-碳纳米管复合膜，该氧化钒-碳纳米管复合膜是由一维碳纳米管和两维氧化钒薄膜复合而成，另该微桥结构为三层夹心结构：最底层是非晶氮化硅薄膜，作为微桥的支撑与绝缘材料；中间层是一层或者多层氧化钒-碳纳米管复合膜，作为微测辐射热计的热敏感层和光吸收层；表层是另外一层非晶氮化硅薄膜，作为热敏薄膜的钝化层以及应力的调控层。该微测辐射热计及其制备方法能克服现有技术中所存在的缺陷，提高了器件的工作性能，降低了原料成本，适宜大规模产业化生产。

主权项

一种非制冷微测辐射热计，包括微桥结构，其特征在于，该微桥结构中的热敏电阻材料和光吸收材料层为氧化钒-碳纳米管复合膜，该氧化钒-碳纳米管复合膜是由一维碳纳米管和两维氧化钒薄膜复合而成。