发明名称 一种透镜光栅的制造方法及设备
摘要 本发明提供了一种透镜光栅的制造方法,包括:在基板上涂布可辐射固化材料层;在可辐射固化材料层上投射出具有灰阶变化的辐射图案;控制辐射图案的投射时间,以在可辐射固化材料层中形成具有高度变化的固化透镜光栅结构。本发明还提供了一种透镜光栅的制造设备。与传统的机械加工方法相比,本发明方法及设备制作的透镜光栅可一次成型,加工工序少,设备简单,成本低,且操作更简便。
申请公布号 CN101881847A 申请公布日期 2010.11.10
申请号 CN201010222638.1 申请日期 2010.07.01
申请人 深圳超多维光电子有限公司 发明人 吴燕鹏
分类号 G02B5/18(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 主分类号 G02B5/18(2006.01)I
代理机构 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 代理人 李庆波;何青瓦
主权项 一种透镜光栅的制造方法,其特征在于,所述透镜光栅的制造方法包括:在基板上涂布可辐射固化材料层;在所述可辐射固化材料层上投射出具有灰阶变化的辐射图案;控制所述辐射图案的投射时间,以在所述可辐射固化材料层中形成具有高度变化的固化透镜光栅结构。
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