发明名称 |
一种薄膜残余应力成分的分析装置 |
摘要 |
本发明公开了一种薄膜残余应力成分的分析装置。它包括继电器式温度控制仪、加热片驱动电路、基板夹具、干涉仪、计算机,继电器式温度控制仪依次与加热片驱动电路、基板夹具、干涉仪、计算机相连接,基板夹具包括第一铜片、第二铜片、铝片、铁夹片、样品固定圆孔、热电阻、MCH加热片,第一铜片背面固定有热电阻和两片MCH加热片,第一铜片两侧设有固定凹槽,第二铜片插入第一铜片两侧设有的固定凹槽内,第二铜片上端两侧固定有两片铁夹片,在两片铁夹片上夹有铝片,铝片上开有样品固定圆孔。本发明是一非破坏性检测方法,具有操作方便、量测迅速、精密度高、可同时测定多种参数和进行应力成分分析等优点。 |
申请公布号 |
CN101285772B |
申请公布日期 |
2010.11.10 |
申请号 |
CN200810061635.7 |
申请日期 |
2008.05.20 |
申请人 |
浙江大学 |
发明人 |
章岳光;陈为兰;沈伟东;王颖;顾培夫;黄文彪 |
分类号 |
G01N21/45(2006.01)I;G01N25/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/45(2006.01)I |
代理机构 |
杭州求是专利事务所有限公司 33200 |
代理人 |
张法高 |
主权项 |
一种薄膜残余应力成分的分析装置,其特征在于包括继电器式温度控制仪(1)、加热片驱动电路(2)、基板夹具(3)、干涉仪(4)、计算机(5),继电器式温度控制仪(1)依次与加热片驱动电路(2)、基板夹具(3)、干涉仪(4)、计算机(5)相连接,基板夹具(3)包括第一铜片(6)、第二铜片(7)、铝片(8)、铁夹片(9)、样品固定圆孔(10)、热电阻(11)、MCH加热片(12),第一铜片(6)背面固定有热电阻(11)和两片MCH加热片(12),第一铜片(6)两侧设有固定凹槽,第二铜片(7)插入第一铜片(6)两侧设有的固定凹槽内,第二铜片(7)上端两侧固定有两片铁夹片(9),在第二铜片(7)与两片铁夹片(9)之间夹有铝片(8),铝片(8)上开有样品固定圆孔(10)。 |
地址 |
310027 浙江省杭州市浙大路38号 |