平板保持体

摘要

提供一种保持体，可对用于曝光装置等的大型掩模或平面镜等平板进行防止自重变形的保持。该保持体由保持平板(6)的多个棒状保持部件构成，其特征为，上述保持部件构成为与平板(6)相接的部分为平面，并且上述保持部件包括：第一保持部件(2)，在偏转、转动及起伏移动被允许的状态下，相对于保持体的基座(4)在1处被支持；第二保持部件(3)，在可进行转动与在第二保持部件延伸方向膨胀的状态下，起伏及偏转被限制，并相对于保持体的基座(4)在2处被支持。

主权项

一种保持体，由保持平板的多个棒状保持部件构成，其特征为：上述保持部件构成为与上述平板相接的部分为平面，并且上述保持部件包括：第一保持部件，在转动、起伏及偏转移动被允许的状态下，相对于保持体的基座，由通过球面轴承的1根支柱支持，上述转动是将上述平板的平面内的一个方向作为轴的旋转，上述起伏是将上述平板的平面内与上述一个方向正交的方向作为轴的旋转，上述偏转是将与上述平板的平面正交的方向作为轴的旋转；和第二保持部件，在可进行转动与向第二保持部件延伸方向的膨胀的状态下，起伏及偏转被限制，相对于保持体的基座，由通过球面轴承的一个支柱和在顶端设置了球的另一个支柱支持，在该第二保持部件上沿着长度方向形成插入上述另一个支柱的V形槽。