发明名称 离子源、系统和方法
摘要 公开了离子源、系统和方法。
申请公布号 CN101366095B 申请公布日期 2010.11.10
申请号 CN200680051601.9 申请日期 2006.11.15
申请人 阿利斯公司 发明人 比利·W·沃德;约翰·A·诺特四世;路易斯·S·法卡斯三世;兰德尔·G·珀西瓦尔;雷蒙德·希尔;亚历山大·格罗霍尔斯基;理查德·科穆纳尔
分类号 H01J9/02(2006.01)I;H01J37/08(2006.01)I;H01J37/252(2006.01)I;H01J37/305(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I;B81B1/00(2006.01)I;G01N23/225(2006.01)I;G12B21/02(2006.01)I;H01J27/26(2006.01)I 主分类号 H01J9/02(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 陶凤波
主权项 一种系统,包括:气体场离子源,包括具有从23°至45°的平均全锥角的导电尖端。
地址 美国马萨诸塞州