一种微波水热法制备SmS薄膜的方法

摘要

一种微波水热法制备SmS薄膜的方法，在去离子水中通入Ar气除去水中的O2；将分析纯的SmCl3·6H2O和分析纯的Na2S2O3·5H2O分别溶入通入Ar气的去离子水中，配置成SmCl3溶液和Na2S2O3溶液；将SmCl3溶液和Na2S2O3溶液混合后倒入微波水热釜中，将已清洁好的基片置于其中，密封微波水热釜，将其放入温压双控微波水热反应仪中水热反应自然冷却到室温；打开水热釜，将基片用无水乙醇或异丙醇洗涤，并置于电热真空干燥箱内干燥即可。本发明制备SmS薄膜反应在液相中一次完成，不需要后期的晶化热处理，从而避免了SmS薄膜在热处理过程中可能导致的卷曲、干裂、晶粒粗化以及薄膜与衬底或气氛反应等缺陷。

主权项

一种微波水热法制备SmS薄膜的方法，其特征在于：1)首先，在去离子水中通入Ar气除去水中的O2；2)然后，将分析纯的SmCl3·6H2O溶入通入Ar气的去离子水中，配置成浓度为0.05～0.4mol/L的SmCl3溶液，将分析纯的Na2S2O3·5H2O溶入通入Ar气的去离子水中，配置成0.05～0.4mol/L的Na2S2O3溶液；3)其次，将SmCl3溶液和Na2S2O3溶液按照2∶1～1∶6的体积比混合，搅拌均匀，用0.05mol/L的HCl调节溶液pH值为3～3.5；4)将上述溶液倒入微波水热釜中，填充度控制在50～67％，将已清洁好的基片置于其中，密封微波水热釜，将其放入温压双控微波水热反应仪中，水热温度控制在160～300℃，反应4～8小时，反应结束后自然冷却到室温；5)最后，打开水热釜，将基片用无水乙醇或异丙醇洗涤4次，并置于40～60℃的电热真空干燥箱内干燥后即在基板表面获得SmS光学薄膜。