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发明名称
摘要
申请公布号 JP4579531(B2) 申请公布日期 2010.11.10
申请号 JP20030426492 申请日期 2003.12.24
申请人 发明人
分类号 G01R31/28;G01R31/317;G11C29/12;G11C29/16;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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