发明名称 |
一种半导体专用设备的弹性传感装置 |
摘要 |
本发明涉及一种传感装置,特别是一种半导体专用设备的弹性传感装置。本发明包括压销,安装板,轴用弹性挡圈,弹簧,传感器支座,传感器。轴用弹性挡圈固定在压销的槽内,弹簧装套在压销上后,将压销放入传感器支座,传感器通过螺钉固定在传感器支座上,压销穿过安装板将传感器支座固定在安装版上,将弹簧封闭在传感器支座内。本发明具有结构紧凑,安装简单,应用方便的特点,是可以广泛应用于半导体专用设备的传感装置。 |
申请公布号 |
CN101881636A |
申请公布日期 |
2010.11.10 |
申请号 |
CN201010190145.4 |
申请日期 |
2010.06.03 |
申请人 |
中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
发明人 |
张敏杰;衣忠波;马林 |
分类号 |
G01D11/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01D11/00(2006.01)I |
代理机构 |
石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 |
代理人 |
张杰 |
主权项 |
一种半导体专用设备的弹性传感装置,其特征在于:其包括压销(1),安装板(2),轴用弹性挡圈(3),复位弹簧(4),传感器支座(5),传感器(6);所述安装板(2)固定在传感器支座(5)之上,传感器支座(5)下固定有传感器(6);传感器支座(5)中央设有能穿过压销(1)并能放入复位弹簧(4)的沉孔,压销(1)穿过安装板(2)中央的通孔,压销(1)下部伸入传感器支座(5)上设置的沉孔中,压销(1)上固定有轴用弹性挡圈(3),复位弹簧(4)套在压销(1)下部,并卡在轴用弹性挡圈(3)和传感器支座(5)中央设置的沉孔底部之间,复位弹簧(4)卡住压销(1)使压销(1)下端不伸出传感器支座(5)的下部。 |
地址 |
065201 河北省三河市燕郊经济开发区海油大街20号 |