| 摘要 |
L’invention concerne un résonateur en silicium (10) de type diapason dont la dérive linéaire de la fréquence en fonction de la température est compensée. Le résonateur comporte un socle (14) en silicium, une pluralité de bras parallèles (11, 12, 13) capables d’entrer en vibration et des moyens d’actuation (18, 21, 22); les bras comprenant une couche de silicium comprise entre deux couches d’ oxyde de silicium dont I’épaisseur, par rapport à celle de la couche de silicium, est telle qu’elle permet de compenser, au premier ordre, la dérive thermique du résonateur.
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