VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG VON STRAHLUNG, LITHOGRAPHIEGERÄT, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES BAUTEILS UND DIESES
摘要
申请公布号
AT482607(T)
申请公布日期
2010.10.15
申请号
AT20050106446T
申请日期
2005.07.14
申请人
ASML NETHERLANDS BV
发明人
KOSHELEV, KONSTANTIN NIKOLAEVITCH;IVANOV, VLADIMIR VITALEVITCH;KOROB, EVGENII DMITREEVITCH;ZUKAVISHVILI, GIVI GEORGIEVITCH;GAYAZOV, ROBERT RAFILEVITCH;KRIVTSUN, VLADIMIR MIHAILOVITCH
