发明名称 PHOTOMASK SUBSTRATE CONTAINER UNIT, PHOTOMASK SUBSTRATE CONVEYING METHOD, PHOTOMASK PRODUCT MANUFACTURING METHOD, AND PHOTOMASK EXPOSURE/TRANSFER METHOD
摘要
申请公布号 KR100985260(B1) 申请公布日期 2010.10.04
申请号 KR20070009250 申请日期 2007.01.30
申请人 发明人
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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