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发明名称 Abrasive Composition Containing Organic Particles for Chemical Mechanical Planarization
摘要
申请公布号 KR100985328(B1) 申请公布日期 2010.10.04
申请号 KR20047009577 申请日期 2002.12.19
申请人 发明人
分类号 B24B37/00;C09K3/14;C09G1/02;H01L21/304;H01L21/321 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
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