发明名称 Photo mask and method for forming overlay vernier in semiconductor device using the same
摘要
申请公布号 KR100985307(B1) 申请公布日期 2010.10.04
申请号 KR20070071057 申请日期 2007.07.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G03F1/42;G03F1/68 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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