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发明名称
Photo mask and method for forming overlay vernier in semiconductor device using the same
摘要
申请公布号
KR100985307(B1)
申请公布日期
2010.10.04
申请号
KR20070071057
申请日期
2007.07.16
申请人
发明人
分类号
H01L21/027;G03F1/42;G03F1/68
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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