| 主权项 |
一种正光阻组合物，其包括按重量计3%至50%之黏结树脂、按重量计2%至40%光活性化合物以及按重量计10%至95%之有机溶剂的正光阻组合物，其中该黏结树脂系选自由下列各物组成之群：具有下述化学式1之结构的树脂、具有下述化学式2之结构的树脂及其混合物；@sIMGTIF!d10003.TIF@eIMG!其中，R1，R2和R3各自独立地为氢或甲基，R4为含有环氧基、具有1至10个碳原子的烷基或环烷基，以及x和y表示该等重复单元的莫耳比，其中x为0.02至0.80，y为0.20至0.98，其限制条件为所述化学式1之黏结树脂为一种不限于给定序列之重复单元的无规共聚物；@sIMGTIF!d10004.TIF@eIMG!其中，R5，R6，R7和R9各自独立地为氢或甲基，R8为含有环氧基、具有1至10个碳原子的烷基或环烷基，R10为选自由含有1至10个碳原子之羧酸、烷氧基羰基化合物及芳香族化合物组成之群中之至少一者，l，m和n表示该等重复单元之莫耳比，其中l为0.02至0.70，m为0.05至0.60，且n为0.01至0.60，其限制条件为所述化学式2的黏结树脂为一种不限于给定序列之重复单元的无规共聚物。如申请专利范围第1项所述之正光阻组合物，其中该黏结树脂具有化学式1之结构，其平均分子量为2,000至300,000，多分散性为1.0至10.0。如申请专利范围第1项所述之正光阻组合物，其中该有机溶剂包括选自由下列各物组成之群的至少一者：乙酸乙酯、乙酸丁酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二甲基乙醚、甲基甲氧基丙酸酯、乙基乙氧基丙酸酯(EEP)、乳酸乙酯、丙二醇甲醚乙酸酯(PGMEA)、丙二醇甲醚、丙二醇丙醚、甲基乙酸溶纤剂、乙基乙酸溶纤剂、二乙二醇乙酸甲酯、二乙二醇乙酸乙酯、丙酮、甲基异丁基酮、环己酮、二甲基甲醯胺(DMF)、N,N-二甲基乙醯胺(DMAc)、N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、γ-丁内酯、二乙醚、乙二醇二甲醚、二甘醇二甲醚(Diglyme)、四氢呋喃(THF)、甲醇、乙醇、丙醇、异丙醇、甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二丙二醇甲醚、甲苯、二甲苯、己烷、庚烷和辛烷。如申请专利范围第1项所述之正光阻组合物，其中该光活性化合物为具有以下结构之化合物，其中萘醌-1,2-二叠氮基-5-磺酸酯基或萘醌-1,2-二叠氮基-4-磺酸酯基被具有1至6个羟基之惰性质所取代。如申请专利范围第1项所述之正光阻组合物，其还包括按重量计0.0001至3%之含有环氧基或胺基之矽基化合物。如申请专利范围第5项所述之正光阻组合物，其中该含有环氧基或胺基之矽基化合物包括选自由下列各物组成之群的至少一者：(3-缩水甘油基氧基丙基)三甲氧基矽烷、(3-缩水甘油基氧基丙基)三乙氧基矽烷、(3-缩水甘油基氧基丙基)甲基二甲氧基矽烷、(3-缩水甘油基氧基丙基)甲基二乙氧基矽烷、(3-缩水甘油基氧基丙基)二甲基甲氧基矽烷、(3-缩水甘油基氧基丙基)二甲基乙氧基矽烷、3,4-环氧基丁基三甲氧基矽烷、3,4-环氧基丁基三乙氧基矽烷、2-(3,4环氧基环己基)乙基三甲氧基矽烷、2-(3,4-环氧基环己基)乙基三乙氧基矽烷以及胺基丙基三甲氧基矽烷。 |
