| 主权项 |
一种负光阻组合物，其包括按重量计3%至50%之黏结树脂、按重量计2%至40%之多羟基丙烯基单体、按重量计0.01%至10%之光引发剂以及按重量计10%至94%之有机溶剂，其中该黏结树脂系选自由下列各物组成之群：由下述化学式1表示之树脂、由下述化学式2表示之树脂及其混合物；@sIMGTIF!d10001.TIF@eIMG!其中，R1，R2和R3各自独立地为氢或甲基，R4为含有环氧基、具有1至10个碳原子的烷基或环烷基，以及x和y表示该等重复单元的莫耳比，其中x为0.02至0.80，y为0.20至0.98，其限制条件为：具有化学式1之黏结树脂为一种不限于重复单元之给定序列的无规共聚物；@sIMGTIF!d10002.TIF@eIMG!其中，R5，R6，R7和R9各自独立地为氢或甲基，R8为含有环氧基、具有1至10个碳原子的烷基或环烷基，R10为选自由含有1至14个碳原子之羧酸、烷氧基羰基化合物及芳香族化合物组成之群中之至少一者，l，m和n表示该等重复单元之莫耳比，其中1为0.02至0.70，m为0.05至0.60，且n为0.01至0.60，其限制条件为：具有化学式2的黏结树脂为一种不限于重复单元之给定序列的无规共聚物。如申请专利范围第1项所述之负光阻组合物，其中该多羟基丙烯基单体包括选自由下列各物组成之群的至少一者：含有2至20个环氧乙烷基之聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯，乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、含有2至20个环氧丙烷基之聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯，丙二醇二(甲基)丙烯酸酯，三羟甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯，双酚-A二缩水甘油醚丙烯酸加成物，乙基异氰尿酸三(甲基)丙烯酸酯，β-羟基乙基(甲基)丙烯酸酯之邻苯二甲酸二酯，β-羟基乙基(甲基)丙烯酸酯之甲苯二异氰酸酯加成物，三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯，四羟甲基甲烷四(甲基)丙烯酸酯，季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯，季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯，二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯，二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯以及二季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯及三羟甲基丙烷三缩水甘油醚丙烯酸加成物。如申请专利范围第1项所述之负光阻组合物，其中该有机溶剂包括选自由下列各物组成之群的至少一者：乙酸乙酯、乙酸丁酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二甲基乙醚、甲基甲氧基丙酸酯、乙基乙氧基丙酸酯(EEP)、乳酸乙酯、丙二醇甲基醚乙酸酯(PGMEA)、丙二醇甲醚、丙二醇丙醚、甲基乙酸溶纤剂、乙基乙酸溶纤剂、二乙二醇乙酸甲酯、二乙二醇乙酸乙酯、丙酮、甲基异丁基酮、环己酮、二甲基甲醯胺(DMF)、N,N-二甲基乙醯胺(DMAc)、N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、γ-丁内酯、二乙醚、乙二醇二甲醚、二甘醇二甲醚(Diglyme)、四氢呋喃(THF)、甲醇、乙醇、丙醇、异丙醇、甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二丙二醇甲醚、甲苯、二甲苯、己烷、庚烷和辛烷。如申请专利范围第1项所述之负光阻组合物，其还包括按重量计0.0001%至3%之含有环氧基或胺基之矽基化合物。如申请专利范围第4项所述之负光阻组合物，其中该含有环氧基或胺基之矽基化合物包括选自由下列各物组成之群的至少一者：(3-缩水甘油基氧基丙基)三甲氧基矽烷、(3-缩水甘油基氧基丙基)三乙氧基矽烷、(3-缩水甘油基氧基丙基)甲基二甲氧基矽烷、(3-缩水甘油基氧基丙基)甲基二乙氧基矽烷、(3-缩水甘油基氧基丙基)二甲基甲氧基矽烷、(3-缩水甘油基氧基丙基)二甲基乙氧基矽烷、3,4-环氧基丁基三甲氧基矽烷、3,4-环氧基丁基三乙氧基矽烷、2-(3,4-环氧基环己基)乙基三甲氧基矽烷、2-(3,4-环氧基环己基)乙基三乙氧基矽烷以及胺基丙基三甲氧基矽烷。 |
