| 主权项 |
一种加压成形装置，系于处理室内保持2片第1基板与第2基板，并将该处理室内减压来贴合前述第1基板与第2基板者；前述处理室内设有分别保持前述第1基板或第2基板之第1保持板或第2保持板；前述第1保持板透过贯通前述处理室之复数第1支柱，与设于该处理室外部并可使前述第1保持板朝上下方向移动之第1移动机构连接；前述第2保持板透过贯通前述处理室之复数第2支柱，与设于前述处理室外部并可使前述第2保持板相对前述处理室朝水平方向移动之第2移动机构连接；又，前述第2移动机构系独立地支撑于前述处理室；且，设有一包围前述第1与第2支柱而用以确保前述处理室之气密的伸缩囊。如申请专利范围第1项之加压成形装置，其更具有：加压机构，系对前述第1保持板施加压力者；及负荷感知器，系检测前述加压机构所施加之加工压者；又，前述加压成形装置根据前述加工压来控制贴合前述第1基板及第2基板时之加压动作。如申请专利范围第1项之加压成形装置，其中前述处理室可上下分割为上侧之第1容器及下侧之第2容器；前述第1容器系支撑成可藉移动机构对前述第2容器进行开闭。 |
