主权项 |
一种加压成形装置,系于处理室内保持2片第1基板与第2基板来贴合前述第1基板与第2基板者,其特征在于;前述处理室可上下分割为上侧之第1容器及下侧之第2容器;前述处理室内设有分别保持前述第1基板或第2基板之第1保持板或第2保持板;前述第1保持板透过贯通前述处理室之复数支柱与设于该处理室外部之第1移动机构连接;前述加压成形装置设有一包围前述支柱以确保前述处理室之气密的伸缩囊;且,前述第2保持板连接于与前述第2容器一同朝水平方向移动之第2移动机构,且与前述第1容器一体地移动。如申请专利范围第1项之加压成形装置,其中前述第1移动机构可将前述第1保持板朝上下方向驱动。如申请专利范围第1项之加压成形装置,其中前述第2保持板固定于前述第2容器。 |