| 主权项 |
一种表面检测装置，用以检测一基板之一检测表面上之一杂质，其包含：一移送杆，其较该基板之一宽度长、且与该基板之该检测表面相隔；一感应器单元，以用于检测沿着一宽度方向横跨该基板之该检测表面之一预定部分之全部，该感应器单元与该移送杆耦接；一位置调节单元，以用于调节该感应器单元与该基板之间之一间距，该位置调节单元与移送杆耦接；及一驱动单元，以用于沿着与该宽度方向相交叉的一方向相对于该基板移送该感应器单元与该位置调节单元。如请求项1之表面检测装置，其中该感应器单元包含一光感应器，以用于与该基板之该检测表面平行之一方向传输/接收光线，并且于与该移送方向垂直之一方向发光，使得光线横跨该基板之该检测表面。如请求项2之表面检测装置，其中该光感应器包含一发光部与一收光部于该基板之该检测表面之两端之一外侧。如请求项3之表面检测装置，其中该发光部与该收光部耦接于移送杆之两端。如请求项4之表面检测装置，其中该移送杆与用于向该基板之该检测表面上涂敷一涂层液之一狭缝喷嘴形成为一体。如请求项1之表面检测装置，其中该感应器单元包含：一扰曲条带，被形成长形以于一宽度方向横跨该基板，以及藉由该基板之全部宽度之一杂质与一干扰而扰曲；以及一检测单元，以用于检测该扰曲条带之一扰曲状态。如请求项6之表面检测装置，其中该扰曲条带之一上端与该基板之该检测表面相隔并且与该移送杆耦接；该扰曲条带之一下端朝向该基板之该检测表面延展；以及当施加一外力时该扰曲条带被扰曲。如请求项7之表面检测装置，进一步包含一检测杆，该检测杆被形成于该扰曲条带之下端，该检测杆被形成长形以于平行该基板之该检测表面之一方向横跨该检测表面，并且藉由一预定间距与该基板之该检测表面相隔。如请求项8之表面检测装置，其中该检测杆延长而形成横跨该基板之检测表面两端。如请求项6至9中任一项之表面检测装置，其中该检测单元包含耦接至该扰曲条带之一应变仪。如请求项7至9中任一项之表面检测装置，其中该检测单元包含一接触感应器；该接触感应器包含多个接触端点；该等接触端点位于该移送杆与该扰曲条带互相面对之处；及当该扰曲条带扰曲时，该等接触端点接触。如请求项7之表面检测装置，其中该移送杆与用于向该基板之该检测表面上涂敷一涂层液之一狭缝喷嘴形成为一体。 |
