发明名称 打线装置
摘要
申请公布号 申请公布日期 2011.02.11
申请号 TW096114747 申请日期 2007.04.26
申请人 新川股份有限公司 发明人 瀬山 耕平
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人 桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项 一种打线装置,具备一端部固定毛细管之超音波放大器、及固定该超音波放大器之接合臂,其特征在于:在该接合臂之部位内设有用以检测该毛细管之按压载重的压力感测器,该接合臂,系在与超音波放大器之重心相同高度、且以支轴为中心旋转接合臂时之惯性力矩平衡之点,形成由薄部构成之支点。如申请专利范围第1项之打线装置,其中,该接合臂,在上面形成有配置压力感测器之感测器配置孔,配置于该感测器配置孔之压力感测器系以预压用螺杆固定于接合臂。如申请专利范围第1项之打线装置,其中,该接合臂,在侧面形成有配置该压力感测器之感测器配置孔,配置于该感测器配置孔之压力感测器系以预压用螺杆固定于接合臂。如申请专利范围第2或3项之打线装置,其中,该预压用螺杆,系以不同于将该超音波放大器固定于该接合臂之放大器固定螺杆的其他构件构成。如申请专利范围第2或3项之打线装置,其中,该预压用螺杆,系兼用为将该超音波放大器固定于该接合臂的放大器固定螺杆。
地址 日本