| 主权项 |
一种接合装置，其特征在于具备：接合处理部，使用接合工具对接合对象进行接合处理；及电浆毛细管，包含：电浆产生部，将在内部电浆化之气体从前端之开口向接合对象喷出；及封气喷出部，从同轴安装于电浆产生部外面之环状流路前端的开口使封气喷出而将电浆化之气体与外气隔绝。一种接合装置，其特征在于具备：接合处理部，使用具有接合毛细管之接合臂对接合对象进行接合处理；电浆毛细管，包含：电浆产生部，将在内部电浆化之气体从前端之开口向接合对象喷出；及封气喷出部，从同轴安装于电浆产生部外面之环状流路前端的开口使封气喷出而将电浆化之气体与外气隔绝；电浆处理部，使用前端具有电浆毛细管之电浆臂对接合对象进行表面处理；及控制部，系进行使接合臂之动作与电浆臂之动作连动的控制。如申请专利范围第2项之接合装置，其中，接合处理部，对保持于接合用载台的接合对象进行接合处理；电浆处理部，对与接合处理部所处理之接合对象同种类且保持于表面处理用载台的接合对象进行表面处理；控制部，系进行在同种类之各接合对象之同部位分别使接合处理与表面处理连动的控制。如申请专利范围第1至3项中任1项之接合装置，其中，电浆产生部，系藉由将电力供应至同轴安装于由绝缘体构成之筒状构件的圆筒型外面电极及安装于筒状构件之中心轴上的线状内部电极，将在筒状构件内部电浆化之气体从筒状构件前端部之开口喷出的电容耦合型微电浆产生部。一种接合装置，其特征在于具备：接合处理部，使用接合工具对接合对象进行接合处理；电浆毛细管，包含：电浆产生部，将在内部电浆化之气体从前端之开口向接合对象喷出；及封气喷出部，从同轴安装于电浆产生部外面之环状流路前端的开口使封气喷出而将电浆化之气体与外气隔绝；位置变更机构，系将插入于电浆产生部内之既定材料之细线之前端位置以与在电浆产生部内部将气体电浆化之电浆区域的关系变更之机构，可在细线之前端位置位于电浆区域外侧且将接合对象物表面以电浆化之气体去除的去除位置、以及与细线之前端位置位于电浆区域内侧，且将细线之材料与电浆化之气体一起喷出至接合对象物使其堆积的堆积位置之间变更；及控制部，藉由位置变更机构使微电浆产生部之细线位置移动至表面去除位置而去除接合对象物表面之污染或氧化膜后，使细线位置移动至堆积位置而将既定材料堆积于接合对象物。一种接合装置，其特征在于具备：接合处理部，使用具有接合毛细管之接合臂对接合对象进行接合处理；电浆毛细管，包含：电浆产生部，将在内部电浆化之气体，从前端之开口向接合对象喷出；及封气喷出部，从同轴安装于电浆产生部外面之环状流路前端的开口使封气喷出而将电浆化之气体与外气隔绝；电浆处理部，使用前端具有电浆毛细管之电浆臂对接合对象进行表面处理；位置变更机构，系将插入于电浆产生部内之既定材料之细线之前端位置以与在电浆产生部内部使气体电浆化之电浆区域的关系变更的机构，可在细线之前端位置位于电浆区域外侧，且将接合对象物表面以电浆化之气体去除的去除位置，与将细线之材料与电浆化之气体一起喷出至接合对象物使其堆积的堆积位置之间变更；及控制部，系进行使接合臂之动作与电浆臂之动作连动的控制；该控制部，藉由位置变更机构使微电浆产生部之细线位置移动至表面去除位置而去除接合对象物表面后，使细线位置移动至堆积位置而将既定材料堆积于接合对象物；接着，藉由接合处理部，在堆积既定材料之部位进行接合处理。如申请专利范围第6项之接合装置，其中，接合处理部，对保持于接合用载台之接合对象进行接合处理；电浆处理部，对与接合处理部所处理之接合对象同种类且保持于表面处理用载台的接合对象进行表面处理；控制部，系进行在同种类之各接合对象之同部位分别使接合处理与表面处理连动的控制。如申请专利范围第2项之接合装置，其中，控制部系进行对同一接合对象使接合处理与表面处理连动的处理。如申请专利范围第6项之接合装置，其中，控制部系进行对同一接合对象使接合处理与表面处理连动的控制。如申请专利范围第8项之接合装置，其中，控制部系进行使接合臂与电浆臂一体移动的控制。如申请专利范围第9项之接合装置，其中，控制部系控制使接合臂与电浆臂一体移动的控制。如申请专利范围第1至3或5至11项中任一项之接合装置，其中，电浆产生部，系藉由将电力供应至卷绕于由绝缘体构成之筒状构件的高频线圈，将在筒状构件内部电浆化之气体从筒状构件前端部之开口喷出的电感耦合型微电浆产生部。如申请专利范围第1至3或5至11项中任一项之接合装置，其中，封气系化学活性与电浆化之气体同等或较该气体低。如申请专利范围第13项之接合装置，其中，封气系钝气。 |
