| 主权项 |
一种包含废气及粉尘之半导体制程尾气之处理方法，该方法包含下列步骤：提供复数个颗粒体，并加热至摄氏400度至700度，其中该些颗粒体之材质包含氧化钙；导入半导体制程尾气并与该等颗粒体进行接触，其尾气中废气可形成一热分解气，尾气中粉尘被该等颗粒体阻滞而被滤除；移除该等颗粒体及粉尘，并分离该粉尘及该等颗粒体；将该热分解气与经粉尘分离之该等颗粒体进行热交换，使该等颗粒体循环再使用；及对该热分解气进行水洗处理。如申请专利范围第1项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理方法，其中更包含一步骤，堆积并移动颗粒体而构成一移动颗粒床。如申请专利范围第1项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理方法，其中该废气系为氟化物，其系选自NF3、SF6、C2F6、C3F8、C4F8及CF4所成组合。如申请专利范围第1项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理方法，其中该废气系为燃烧性气体，其系选自SiH4或SiCl2H2。如申请专利范围第1项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理方法，其中该废气系为毒性气体，其系选自AsH3或PH3。如申请专利范围第1项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理方法，其中该废气系为酸性气体，其系选自Cl2、F2、HCl或HF所成组合。如申请专利范围第1项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理方法，其中该水洗处理系将该热分解气通入水中。如申请专利范围第1项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理方法，其中该水洗处理系对该热分解气喷洒水雾。如申请专利范围第1项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理方法，其中系于该尾气被导入与该等颗粒体进行接触之前，对该尾气进行一前端水洗处理。如申请专利范围第1项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理方法，其中该颗粒体之粒径为1~4公厘(mm)。一种包含废气及粉尘之半导体制程尾气之处理系统，该处理系统包含有：复数个颗粒体，其中该些颗粒体之材质包含氧化钙；一高温反应装置，用以容置该等颗粒体并加热该等颗粒体至摄氏400度至700度，其中该半导体制程尾气系被导入该高温反应装置与该等颗粒体进行接触，其中尾气中废气形成一热分解气，尾气中粉尘被该等颗粒体阻滞而被滤除；一粉尘分离装置，用以自该高温反应装置接收该粉尘及该等颗粒体，并将该等粉尘与该颗粒体分离；一热回收储放装置，用以自该粉尘分离装置接收经粉尘分离之颗粒体，并由该高温反应区接收该热分解气，使该热分解气与该颗粒体进行热交换，并将输送该等颗粒体至该高温反应区；及一水洗装置，连接于该热回收储放装置，用以接收该热分解气以对该热分解气进行水洗处理，以使该热分解气中未完全热分解之成分溶解于水中。如申请专利范围第13项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理系统，其中更包含一前端水洗净化装置，该尾气系于被导入该高温反应装置前先被导入该前端水洗净化装置，以进行一前端水洗处理。如申请专利范围第13项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理系统，其中该颗粒体之粒径系为1~4公厘。如申请专利范围第13项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理系统，其中该颗粒体系堆积并移动于该高温反应装置中，而形成一移动颗粒床。如申请专利范围第13项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理系统，其中该高温反应装置包含一下料斗，该下料斗的内部构成一高温反应区，用以容置该颗粒体。如申请专利范围第19项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理系统，其中该下料斗具有一颗粒体入口及一颗粒体出口，该颗粒体系由颗粒体入口被置入该下料斗中，并持续向该颗粒体出口移动而到达该下料斗外部。如申请专利范围第19项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理系统，其中该高温反应装置更包含一导流单元，设置于下料斗中，用以改善该等颗粒体移动时之流场。如申请专利范围第21项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理系统，其中更包含一加热装置，热置于该导流单元中。如申请专利范围第19项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理系统，其中更包含有至少一通气管，设置于该下料斗之侧面，以供该半导体制程尾气被通入该下料斗。如申请专利范围第13项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理系统，其中该高温反应装置包含复数个互相连接之下料斗，该等颗粒体系堆积并持续移动该等下料斗中。如申请专利范围第24项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理系统，其中各该下料斗之一侧具有一进气口，用以供该尾气被导入各该下料斗，且各该下料斗之另一侧具有一排气口，用以该热分解气被导入该热回收储放装置该。如申请专利范围第25项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理系统，其中更包含一进气罩，系覆盖于各该下料斗之进气口，用以以导入该尾气由各该下料斗之进气口进入各该下料斗。如申请专利范围第25项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理系统，其中更包含一排气罩，覆盖于各该下料斗之排气口，并连接于该热回收储放装置，用以使该废气形成之热分解气由各该下料斗之排气口导入该热回收储放装置。如申请专利范围第13项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理系统，其中更包含一颗粒体及粉尘输送装置，系连接于该高温反应装置，用以接收混合该粉尘之颗粒体并加以运送至该粉尘分离装置。如申请专利范围第13项所述之包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理系统，其中该粉尘分离装置系为一重力分离器、一旋风分离器、一筛网。 |
