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发明名称 PARTITION SPACE PRESSURE CONTROLL APPARATUS OF FILM PRETREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 KR101037606(B1) 申请公布日期 2011.05.27
申请号 KR20080072327 申请日期 2008.07.24
申请人 发明人
分类号 C23C14/02;C23C14/54 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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