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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR TRAETING SUBSTRATE HAVING SHUTTER UNIT
摘要
申请公布号
KR101043716(B1)
申请公布日期
2011.06.24
申请号
KR20090037518
申请日期
2009.04.29
申请人
发明人
分类号
H01L21/302;H01L21/02
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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