一种基于双稳态柔性机构的静电微继电器

摘要

一种基于双稳态柔性机构的静电微继电器，属于微电子机械系统(MEMS)中使用的静电继电器。该静电微继电器的双稳态全柔性梁采用二个柔性梁，一个左柔性梁的一端固定于左绝缘锚点上，另一端固定在构件上，另一个右柔性梁的一端固定于右绝缘锚点上，另一端也固定在构件上；在电压激励下，可动梳齿带动双稳态全柔性梁横向运动，并发生快速翻转到第二稳态位置，可动触点与固定于下绝缘锚点上的左固定触点和右固定触点形成桥接，接通电路，在施加异向驱动电压时，继电器迅速跳转返回第一稳态位置。该静电微继电器采用双稳态柔性机构来代替传统的线弹性结构以提高响应速度和稳态保持能力，具有机构简单、短程驱动、能耗低和抗干扰能力强的特点。

主权项

一种基于双稳态柔性机构的静电微继电器，它主要包括可动梳齿（2）和固定梳齿（4）、可动触点（5）和固定触点；其特征在于：它还包括双稳态全柔性梁，所述可动梳齿（2）和可动触点（5）采用构件（2a）连接成一体，所述双稳态全柔性梁采用二个柔性梁，一个左柔性梁（1a）的一端固定于左绝缘锚点（3a）上，另一端固定在构件（2a）上，另一个右柔性梁（1b）的一端固定于右绝缘锚点（3b）上，另一端也固定在构件（2a）上；在电压激励下，可动梳齿（2）带动双稳态全柔性梁横向运动，并发生快速翻转到第二稳态位置，可动触点（5）与固定于下绝缘锚点（3c）上的左固定触点（6a）和右固定触点（6b）形成桥接，接通电路，在施加异向驱动电压时，继电器迅速跳转返回第一稳态位置。