发明名称 元件清洗机之复合式喷头
摘要
申请公布号 TWM412455 申请公布日期 2011.09.21
申请号 TW099221479 申请日期 2010.11.05
申请人 承澔科技股份有限公司 臺中市大雅區德勝路38號 发明人 刘东波 台中市后里区三丰路500号
分类号 H01L21/30;B08B13/00;B05B7/02 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项 一种元件清洗机之复合式喷头,包含:本体:系于内部开设有复数个流道,各流道之一端系分别连通可输送不同流体之输送管,另一端则输出预设之流体;喷口面板:系装配于本体上,并于相对应本体之各流道位置设有喷口,用以喷洒不同流体。
地址 台中市大雅区德胜路38号